846405 PR Plasmaverfahren zur Herstellung dünner Schichten

Sommersemester 2020 | Stand: 21.04.2020 LV auf Merkliste setzen
846405
PR Plasmaverfahren zur Herstellung dünner Schichten
PR 2
1,5
Block
jährlich
Deutsch

Die Studierenden verfügen über grundlegende theoretische und experimentelle Kenntnisse der Plasmaphysik, -diagnose und -technologie, des Umgangs mit den entsprechenden Plasmaapparaturen und plasmatechnologischer Anwendung in Material- und Nanowissenschaften. Sie erlernen die Berechnung funktionaler Dünnschichtsysteme, verschiedene Depositionstechniken und kontrollieren die Materialeigenschaften des von ihnen hergestellten Produktes.

Praktische Experimente an Plasmaapparaturen zur Diagnose, Charakterisierung und Kontrolle von Plasmen und zu ihrer Anwendung in der Beschichtungstechnologie.

nach Vereinbarung