Lehrveranstaltungen


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Wahlmodul 2: Plasma- und Dünnschichttechnologie (5 ECTS-AP, 5 SSt.)
Anmeldevoraussetzung: keine
Lernergebnis: Die Studierenden verfügen über grundlegende theoretische und experimentelle Kenntnisse der Plasmaphysik, -diagnose und -technologie, des Umgangs mit den entsprechenden Plasmaapparaturen und plasmatechnologischer Anwendung in Material- und Nanowissenschaften. Sie erlernen die Berechnung funktionaler Dünnschichtsysteme, verschiedene Depositionstechniken und kontrollieren die Materialeigenschaften des von ihnen hergestellten Produktes.
Zur übergeordneten Rubrik
ML
710613
PR Dünnschichttechnologie, Gasphasenabscheidung (2 Gruppen) (PR / 1h / 1 ECTS-AP)
Laerte Luigi Patera, Simon Penner, Extern Platzhalter
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ML
846404
VU Plasmaanwendungen (VU / 2h / 2,5 ECTS-AP)
Nikolaus Weinberger
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ML
846405
PR Plasmaverfahren zur Herstellung dünner Schichten (PR / 2h / 1,5 ECTS-AP)
Nikolaus Weinberger
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Hinweis:
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