Lehrveranstaltungen
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710613
Dünnschichttechnologie, Gasphasenabscheidung (2 Gruppen) (PR / 1h / 1 ECTS-AP)
Thomas Martin Götsch, Simon Penner
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846404
Plasmaanwendungen (VU / 2h / 2,5 ECTS-AP)
Georg Norbert Strauss
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846405
Plasmaverfahren zur Herstellung dünner Schichten (PR / 2h / 1,5 ECTS-AP)
Georg Norbert Strauss
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Hinweis:
- Es können sich noch Änderungen im Lehrveranstaltungsangebot sowie bei Raum- und Terminbuchungen ergeben.
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